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極限真空是羅茨真空泵的重要參數之一

發布時間: 2022-07-21  點擊次數: 639次
  極限真空是羅茨真空泵的重要參數之一,其含義是在嚴密封閉泵的入口時,經較長時間運轉所能達到的zui高真空度。因常用壓力表示,故又稱極限壓力。從特性曲線中可以看出,當真空泵達到極限真空時,通過泵入口的正向氣流量為零,即泵的實際抽速為零。如果與前級真空串聯工作,由于氣流連續性,此時前級泵也同時達到極限真空。
 
  羅茨真空泵在作為機械增壓泵使用時,其極限真空與前級真空泵有關,選擇不同的前級泵可以獲得不同的極限真空。用水環真空泵作前級泵時,單級真空泵的極限真空為1Torr左右,雙級真空泵可達2*10-2Torr,用滑閥真空泵作前級泵時,單級真空泵的極限真空為5*10-4Torr,雙級真空泵可達到1*10-5Torr。
 
  直排大氣的濕式羅茨真空泵的極限真空不高,一般約為60~40Torr,其真空度高低與泵制造的質量有關。不過這種真空泵常常是用在抽粗真空的場合,所要求的真空度比極限真空低得多,因此這種泵的極限真空對使用來說意義不大。
 
  在試驗羅茨真空泵的極限真空時,按照部頒標準規定一般要求開動10~20min以達到極限真空,同時還要注意泵的濕度應保持正常。新出廠的真空泵達到極限壓強的時間可能更長一些,因為零件上可能有易揮發的清洗液,或因泵的潤滑油吸收了水份和氣體,需要一定的時間才能充分揮發。能試驗二、三次,以便加以比較。
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